法蘭

真空法蘭是用於連接真空腔體、管路與組件的關鍵密封元件，材質多為不鏽鋼 (SUS304/316L)，依真空度需求分為 KF (低/高真空)、ISO (高真空) 與 CF (超高真空) 三大類。KF 利用夾具快速拆裝，CF 則透過銅墊片金屬密封。常用於半導體、科研與真空設備